*.名称:JBX****FS电子束光刻系统维修保养服务;*.时限:*年保障;*.目标:电子束光刻系统是实验室条件下微纳米加工不可替代的仪器装备是一种高精度的纳米级芯片直写系统系统厐大复杂包括电子光学系
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