等离子设备待竞价详细

*腔体材质：不锈钢表面处理，*供电电源：AC220V，*工作电流： 整机工作电流不大于1.2A（不含真空泵），*射频电源功率：0-300可调*射频频率：40KHZ（偏移量小于0.2KHz），*频率偏移量：小于0.2KHz，*特性阻抗：50欧姆，自动匹配，*真空度：1pa-10Pa，* (略) 数：二路气体输入，*气体流量：16—160ml/min（可调），*过程控制：PLC人机界面自动与手动方式，清洗时间：1-6000秒钟可调，功率大小 10%-100%可调，内腔尺寸：直径150mm×270mm ，*外形尺寸：550mmx450x420mm，*重量45Kg，*真空泵一台， *真空室温度： 小于65°C，*冷却方式： 强制风冷。含真空泵，真空计，不锈钢三通，挡板阀，卡箍，油雾过滤器，链接管。