飞秒激光加工光波导采购项目单一来源公示

序号

货物名称

技术要求

计量

单位

数量

交货

时间

交货

地点

备注

1

飞秒激光加工光波导

（1）波导通光波长为 * nm，耦合损耗小于 * dB.

（2）端面出光光斑为单 * (略) 直径为 * .4±0.5μm。

（3）微槽内壁粗糙度应小于 * nm（ * × * μm范围内）

批

3

合同签订后3个月内

(略)

说明

1. (略) (略) 有产 (略) 投标报价，否则视为无效投标。

2. 运杂费、卸货费等 * 切过程费用均由中标方承担。

3. 采购范围包括：上述产品及配套材料、附属设施的供货、安装、调试和售后服务等。

参数名称

要求

备注

1

波导通光波长

* nm

2

(略) 直径

* .4±0.5μm

标准的高斯光束，或椭圆结构，但长短轴比例不大于1.2:1；

3

传播7 (略) 直径

不同芯片之间的差距小于 * %

标准的高斯光束，或椭圆结构，但长短轴比例不大于1.2:1

4

内壁粗糙度

小于 * nm（ * × * μm范围内）

5

损耗

小于 * dB

指从带槽光波导 * 端到另 * 端的损耗

6

直径

* .7mm

7

槽长

* ±1μm

8

槽宽

* ±1μm

9

波导与槽之间的距离

* ±1μm

*

波导之间的距离

* μm

*

波导与上表面距离

* ± * μm

*

波导与下表面距离

* ± * μm