中微临港产业化基地一期第一阶段

项目名称

中微临港产业化基地（一期）（第一阶段）

项目名称

中微临港产业化基地（一期）（第一阶段）

建设单位

中微半导体（上海）有限公司

所属行业

专用设备制造业

建设地点

(略) (略) (略) 临 (略) (略) 4168 号（ (略) 以东， (略) 以北， (略) 以南， (略) 以西重装 (略) J04-02地块）

项目基本信息

(略) (略) 中微半导体（上海）有限公司（以下简称“中微公司”），2021年，拟投资*.*元， (略) (略) 临港重装 (略) 建设“中微临港产业化基地（一期）”项目，建立一个临港半导体设备和材料产业基地，总用地面积*.6m2，其中有研发中心、生产基地、销售和结算中心、 (略) ， (略) (略) 等。 (略) 场情况、详细设计和施工设计的进行，项目拟分两阶段建设，2024年7月，针对项目建设过程中存在的 (略) ，中微公 (略) 编制了《中微临港产业化基地（一期）非重大变动环境影响分析说明》，变动后，Etch研发及研发配套（包括计量实验室、材料实验室、化学精洗间、聚合物实验室、PVD实验室）、使用磷烷的Epi研发机台，于第二阶段实施，其余在第一阶段实施。 第一阶段主要建设内容包括：生产厂房、仓库（含动力站、废水站）、*类仓库、*类仓库（3／4项）、氨气站、氢气站、主楼、员工餐厅（含地下停车库）、生活楼及门卫等。主要产品包括Etch（刻蚀设备）、CVD（化学气相沉积设备，包括HPCVD、LPCVD）、MOCVD（金属有机化合物化学气相沉积设备）、Epi（外延设备）、全自动薄膜和关键尺寸光学测量设备、宏观缺陷检测设备，研发范围包括CVD、Epi、MOCVD等。

设计单位

(略)

计划开工日期

2021-05-31

环评项目登记号

115 - 41-21 -247

环评批文文号

沪 自 贸 临 管 环 保 许 评【 2021 ] 28 号

环评批文日期

2021-03-29

联系人

刘克山

联系电话

199******** 显示

电子邮箱

*@*mecnsh.com

实际开工日期

2021-06-20

实际开工日期

2021-06-20

施工期环保措施落实情况（pdf）

中微临港产业化基地（一期）（第一阶段）建设过程环保措施落实情况信息公示2023.9-2024.11 （盖章版）.pdf

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施工期环境监测结果（pdf）

开始调试日期

2024-08-03

竣工日期

2024-08-02

开始调试日期

2024-08-03

联系人

刘克山

联系电话

199******** 显示

非重大调整报告（pdf）

【公示稿】中微临港基地非重大变动.pdf

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环保措施落实情况（pdf）

中微临港产业化基地（一期）（第一阶段）环保措施落实情况报告（盖章版）.pdf

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公示起始日期

公示起始日期

验收报告