等离子表面清洗仪网上比选需求公示

序号

指标项

指标要求

1

等离子表面清洗仪

1.可设定功率、压强、气体流量与时间等参数， (略) 理时间(主机).

2.反应舱 * mm＞Φ＞ * mm*L≥ * mm，容积＞2L。(主机)

3.发生器原装进口，频率≥ * KHZHz,功率≥ * W且连续可调，反射波自动匹配调节，等离子稳定且均匀。(主机)

4.腔体压力≤0.5mba,带有压力自检功能。(主机)

5.电极材质为铝/不锈钢。                                   

6.真空泵的排气能力大于4m3/Hour。(主机)

7.配有压力传感器，可显示腔体压力，量程0.1- * mba。

8.外尺寸：W≤ * *D≤ * *H＜ * mm (主机)

9.真空泵的排气能力大于4m3/Hour。(配件)

2

配置

(略) 分：主机、真空泵

3

参考品牌、型号

Components  Plasmalution S

YAMATO   PR * PR *

Diener   Femto