中山大学2024年9至11月政府采购意向-中山大学柔性电子学院原子层沉积系统采购项目其他电工、电子生产设备-预算金额万元人民币

A*其他电工、电子生产设备

设备名：原子层沉积系统，数量：1套；该设备是一种高精度的薄膜沉积系统，可以在衬底获得超薄、高质量、低缺陷的薄膜，是低维柔性电子器件制作过程中重要的设备之一，能够满足如有机电子、微纳光电、太阳能电池等方向对于高质量器件制作的需求。技术指标：基质尺寸：最多 200 mm；尺寸（宽 x 深 x 高）585 x 560 x 980 毫米；柜：带有可拆卸面板和可锁定前体门的白色粉末涂层的钢板；操作模式Continuous Mode?（高速）或 Exposure Mode?（超高纵横比）；功率：115 VAC 或 220 VAC，1500 W（不包括泵）控制；LabView?，Windows? 7，Lenovo 笔记本电脑，USB 控制；最大基质温度S100：RT – 400 °CS200：RT – 350 °CS300：RT – 350 °C；沉积均匀性（Al2O3) < 1% (1σ)；周期时间每周期 <2 秒（AL2O3在 200 °C 下）；真空泵：Alcatel 2021C2 – 14.6 CFM；兼容性：洁净室级别 100 兼容；合规性CE、TUV、FCC；前体输送系统，端口2 线标准，最多 6 条线可用每条线都适合固体、液体和气体前体线可独立加热至 200 °C；前体输送系统，阀门行业标准高速原子层沉积 (ALD) 阀，响应时间 10 毫秒；前体气瓶：独立加热 50 ml 不锈钢气瓶，更大气瓶可选；承载器/排气气体：N2质量流量控制，100 SCCM；选项：低蒸汽压力输送 (LVPD) 系统臭氧发生器用于晶片盒或 3D 物体的圆顶盖手套箱接口原位椭圆偏振术原位石英晶体微平衡 (QCM)自组装单分子膜 (SAM)颗粒涂层。交付时间要求：2024年11月30日前，售后服务要求：整机免费保修2年以上（含软件升级），包含设备培训，培训时间>5小时，售后响应时间24h内。