中国科学院微电子研究所2020年3至12月政府采购意向-复合脉冲激光沉积薄膜生长和检测系统

A *** -其他电子和通信测量仪器

1.名称：复合脉冲激光沉积薄膜生长和检测系统；2.数量：1套；3.主要功能：用于制备电控铁电铁磁存储器的核心结构多铁隧道结和其他自旋电子器件。具有可控制的原子级高质量外延薄膜生长、稳定的生长温度和气氛及速率控制方案，可在超高真空环境中制备多层具有高均匀性 (略) 整性的各种薄膜材料，异质结金属氧化物、硅氧化物、高k氧化物、金属氮化物、铁电材料等。配制反射高能电子衍射实时监控，制备纳米级单层及多层功能薄膜和异质结器件等。可配反射高能电子衍射，可加装椭偏仪及实时监控，满足多靶台配备需求。4.质量：设备必须为整机进口，产品硬件配备国际主流配置，工艺能力达到国际水平；质保期：验收合格后1年。5.服务：保修期内卖方提供免费的维护和技术服务，仪器出现故障要求 * 小时响应，3个工 (略) 维修；保修期外，卖方应保证以优惠的价格为用户提供足量的零配件，工 (略) 维修服务的只收取成本费用以及服务费。6.安全：符合中国安全标准。7.时限：合同签订后9个月内。