申购单号:CMEIAS(略)
申购主题:探针台测试系统
采购单位:宁波东方理工大学（暂名） (略) 东方理 (略)
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:(略).0
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后90天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:浙江省/ (略) / (略) /****
付款方式:货到验收合格后付款，有其他付款需求请在报价时备注
备注说明:1.全新正品 2.供应商需送货上门安装调试，并提供日后搬迁的二次移机服务 3.探针台系统中，探针台交货时间为合同签订后15天内，整体系统交货安装时间为合同签订后90天内 4.本次采购合同签订主体为宁波数字孪生（东方理工） (略) 申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 探针台测试系统 | 1.0 | (略).0 |
| 品牌 | 森东宝 |
| 型号 | CL-6 |
| 规格参数 | [{"key":"1","value":"1. 测试系统应支持多种类型器件的电学性能测试,如两抽头、三抽头器件、小信号晶体管、 (略) 、光电器件等。系统至少满足以下功能要求：I-V 测量、漏电流测试、脉冲响应测试、高精度电阻测量、噪声测试以及信号干扰分析。2. 晶圆大小：6inch并向下兼容。3. 卡盘：带快速抽拉功能，带旋转调节、粗细调节功能，支持X/Y轴线性移动，行程至少为6inch x 6inch，移动精度：≤5μm；并配备机械锁紧装置。4. 卡盘Z轴升降，行程≥8mm，微调精度≤2μm，带机械锁紧装置。5. (略) 快速升降行程≥5mm，带机械锁紧装置。6. 显微镜X-Y移动范围至少为2inch x 2inch，具备显微镜快速倾仰装置，并带机械锁紧装置。配置PSM1000高分辨率金相显微镜, 最大放大倍率不低于2500倍，可调；配置CCD内嵌控制测量软件。7. 探针座X-Y-Z 方向的移动行程≥20mm。8. 探针座移动精度≤ 0.5 μm 。9. 漏电精度≤ 50fA，配置至少6套探针座。10. 最大可耐脉冲电流≥10A,最高可耐脉冲电压≥1500V 。 11. 配置气浮防震桌。12. 脉冲函数任意噪声发生器，要求如下：12.1. 脉冲测试应支持至少1 μHz-120 MHz可变上升/下降时间脉冲生成。12.2. 脉冲输出个数可控（最小脉冲个数为1个）。12.3.至少满足1 μHz-240 MHz正弦波输出。12.4.可产生脉冲、正弦波、方波、斜波、噪声和任意波形，并具有可调整的波峰因数和信号重复的噪声。12.5.1通道输出，每个通道的正常输出电流最大不超过440mA。12.6.电压范围至少满足-20v至20V,可调。12.7. FM、AM、PM、PWM、FSK调制能力≥10MHz。13. 配置数字源表，要求如下：13.1.数字源表测试的源/测量分辨率:不低于6位半。13.2. 数字源表通道数:至少2通道；支持4探针法测电阻。13.3.最大电流源/量程:≥1.5A/10A(直流/脉冲)，最大电压源/量程: ≥200V。13.4.最小电流/电压测量分辨率:≤0.1fA/100nV,最小电流/电压源分辨率:≤20fA/5uV。13.5.电压基本精度/电流基本精度:≤0.015%/0.02%。13.6.电阻测试范围:至少覆盖0.5uΩ to 10 PΩ,13.7.TSP-Link 通道扩展总线，可拓展进行多通道并行测试。13.8. 数字源表包含测试软件，配置电脑主机和显示器。","important":true}] |
| 质保及售后服务 | 探针台质保2年，数字源表和脉冲函数任意噪声发生器质保1年，按行业标准提供服务 |
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 2 | 探针台测试系统 | 1.0 | (略).0 |
| 品牌 | MPI |
| 型号 | TS150 |
| 规格参数 | [{"key":"1","value":"1. 测试系统应支持多种类型器件的电学性能测试,如两抽头、三抽头器件、小信号晶体管、 (略) 、光电器件等。系统至少满足以下功能要求：I-V 测量、漏电流测试、脉冲响应测试、高精度电阻测量、噪声测试以及信号干扰分析。2. 晶圆大小：6inch并向下兼容。3. 卡盘：带快速抽拉功能，带旋转调节、粗细调节功能，支持X/Y轴线性移动，行程至少为6inch x 6inch，移动精度：≤5μm；并配备机械锁紧装置。4. 卡盘Z轴升降，行程≥8mm，微调精度≤2μm，带机械锁紧装置。5. (略) 快速升降行程≥5mm，带机械锁紧装置。6. 显微镜X-Y移动范围至少为2inch x 2inch，具备显微镜快速倾仰装置，并带机械锁紧装置。配置PSM1000高分辨率金相显微镜, 最大放大倍率不低于2500倍，可调；配置CCD内嵌控制测量软件。7. 探针座X-Y-Z 方向的移动行程≥20mm。8. 探针座移动精度≤ 0.5 μm 。9. 漏电精度≤ 50fA，配置至少6套探针座。10. 最大可耐脉冲电流≥10A,最高可耐脉冲电压≥1500V 。 11. 配置气浮防震桌。12. 脉冲函数任意噪声发生器，要求如下：12.1. 脉冲测试应支持至少1 μHz-120 MHz可变上升/下降时间脉冲生成。12.2. 脉冲输出个数可控（最小脉冲个数为1个）。12.3.至少满足1 μHz-240 MHz正弦波输出。12.4.可产生脉冲、正弦波、方波、斜波、噪声和任意波形，并具有可调整的波峰因数和信号重复的噪声。12.5.1通道输出，每个通道的正常输出电流最大不超过440mA。12.6.电压范围至少满足-20v至20V,可调。12.7. FM、AM、PM、PWM、FSK调制能力≥10MHz。13. 配置数字源表，要求如下：13.1.数字源表测试的源/测量分辨率:不低于6位半。13.2. 数字源表通道数:至少2通道；支持4探针法测电阻。13.3.最大电流源/量程:≥1.5A/10A(直流/脉冲)，最大电压源/量程: ≥200V。13.4.最小电流/电压测量分辨率:≤0.1fA/100nV,最小电流/电压源分辨率:≤20fA/5uV。13.5.电压基本精度/电流基本精度:≤0.015%/0.02%。13.6.电阻测试范围:至少覆盖0.5uΩ to 10 PΩ,13.7.TSP-Link 通道扩展总线，可拓展进行多通道并行测试。13.8. 数字源表包含测试软件，配置电脑主机和显示器。","important":true}] |
| 质保及售后服务 | 探针台质保2年，数字源表和脉冲函数任意噪声发生器质保1年，按行业标准提供服务 |
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 3 | 探针台测试系统 | 1.0 | (略).0 |
| 品牌 | FORTEC |
| 型号 | CH-8 |
| 规格参数 | [{"key":"1","value":"1. 测试系统应支持多种类型器件的电学性能测试,如两抽头、三抽头器件、小信号晶体管、 (略) 、光电器件等。系统至少满足以下功能要求：I-V 测量、漏电流测试、脉冲响应测试、高精度电阻测量、噪声测试以及信号干扰分析。2. 晶圆大小：6inch并向下兼容。3. 卡盘：带快速抽拉功能，带旋转调节、粗细调节功能，支持X/Y轴线性移动，行程至少为6inch x 6inch，移动精度：≤5μm；并配备机械锁紧装置。4. 卡盘Z轴升降，行程≥8mm，微调精度≤2μm，带机械锁紧装置。5. (略) 快速升降行程≥5mm，带机械锁紧装置。6. 显微镜X-Y移动范围至少为2inch x 2inch，具备显微镜快速倾仰装置，并带机械锁紧装置。配置PSM1000高分辨率金相显微镜, 最大放大倍率不低于2500倍，可调；配置CCD内嵌控制测量软件。7. 探针座X-Y-Z 方向的移动行程≥20mm。8. 探针座移动精度≤ 0.5 μm 。9. 漏电精度≤ 50fA，配置至少6套探针座。10. 最大可耐脉冲电流≥10A,最高可耐脉冲电压≥1500V 。 11. 配置气浮防震桌。12. 脉冲函数任意噪声发生器，要求如下：12.1. 脉冲测试应支持至少1 μHz-120 MHz可变上升/下降时间脉冲生成。12.2. 脉冲输出个数可控（最小脉冲个数为1个）。12.3.至少满足1 μHz-240 MHz正弦波输出。12.4.可产生脉冲、正弦波、方波、斜波、噪声和任意波形，并具有可调整的波峰因数和信号重复的噪声。12.5.1通道输出，每个通道的正常输出电流最大不超过440mA。12.6.电压范围至少满足-20v至20V,可调。12.7. FM、AM、PM、PWM、FSK调制能力≥10MHz。13. 配置数字源表，要求如下：13.1.数字源表测试的源/测量分辨率:不低于6位半。13.2. 数字源表通道数:至少2通道；支持4探针法测电阻。13.3.最大电流源/量程:≥1.5A/10A(直流/脉冲)，最大电压源/量程: ≥200V。13.4.最小电流/电压测量分辨率:≤0.1fA/100nV,最小电流/电压源分辨率:≤20fA/5uV。13.5.电压基本精度/电流基本精度:≤0.015%/0.02%。13.6.电阻测试范围:至少覆盖0.5uΩ to 10 PΩ,13.7.TSP-Link 通道扩展总线，可拓展进行多通道并行测试。13.8. 数字源表包含测试软件，配置电脑主机和显示器。","important":true}] |
| 质保及售后服务 | 探针台质保2年，数字源表和脉冲函数任意噪声发生器质保1年，按行业标准提供服务 |
信息来自：http://**#/purchase/detail/aaf34a(略)a(略)b1a554ca9
, (略) ,宁波
PDF格式
Excel格式
Word格式
京公网安备 11010802042560号