关于《安徽晶隆半导体科技有限公司半导体外延材料产业化项目环境影响报告书》的批复滁环办复号

安徽晶 (略) ：

你公司报来的《安徽晶 (略) 半导体外延材料产业化项目环境影响报告书》（以下简称《报告书》，项目代码2401-(略)-04-01-(略)） (略) 生 (略) 预审意见收悉。结合专家技术评审意见，现批复如下：

一、原则同意《报告书》 (略) 预审意见。该项 (略) (略) (略) 666号，占地面积约250亩，总投资(略)万元，新建厂房(略)平方米，购置CVD等设备，设计年产6英寸、8英寸硅外延片(略)片、4英寸碳化硅外延片(略)片。

二、原则同意该项目按照《报告书》所列建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺、环境保护措施、总量控制方案、环境监测计划进行建设，并重点做好以下工作：

1、项目设计实施中，应进一步优化本项目主体工程、公用工程、储运工程及污染防治设施的工程设计，采用先进的生产工艺、装备 (略) 理工艺，提高清洁生产水平，减少各类污染物排放。

2、落实《报告书》提出的废气污染防治措施。加强生产工艺废气 (略) 理，生产、输送、储存过程采用密闭或负 (略) 理，严格控制无组织排放，定期开展泄漏检测工作，按规范要求设置废气排放口。硅外延炉产生废气经收集由三级水喷淋系 (略) 理后分别通过25m排气筒（(略)）排放，硅外延片钝化后清洗废气经负压密闭收集由二级酸洗 (略) 理后通过25m排气筒（DA289）排放，硅外延片腐蚀废气经负压密闭收集由二级碱洗 (略) 理后通过25m排气筒（DA290）排放，硅外延片碱洗废气经负压密闭收集由二级酸洗 (略) 理后通过25m排气筒（DA289）排放，硅外延片酸洗废气经负压密闭收集由二级碱洗 (略) 理后通过25m排气筒（DA290）排放，硅外延片干燥废气经负压密闭收集由二级活性炭纤 (略) 理后通过25m排气筒（DA291）排放；碳化硅外延炉产生废气经收集由三级水喷淋系 (略) 理后分别通过25m排气筒（(略)）排放，碳化硅外延片碱清洗废气经负压密闭收集由二级酸洗 (略) 理后通过25m排气筒（DA500）排放，碳化硅外延片酸清洗废气经负压密闭收集由二级碱洗 (略) 理后通过25m排气筒（DA501）排放；碳化硅外延片干燥废气经负压密闭收集后由二级活性炭纤 (略) 理后通过25m排气筒（DA502）排放；外延炉石英件清洗废气经负压密闭收集由二级碱洗 (略) 理后通过25m排气筒（DA290）排放；氯化氢站和三氯氢硅站内酸性排气经负压密闭收集由二级碱洗 (略) 理后通过25m排气筒（DA503）排放；危废固废库废气经密闭收集由二级 (略) 理后通过15m高排气筒（DA504）排放； (略) 理站废气经密闭收集由二级酸碱 (略) 理后通过15高排气筒（DA505）排放；锅炉天然气燃烧废气经锅炉自带水冷预混低氮燃 (略) 理后由25m高排气筒（DA506）排放。生产工艺及储运过程中产生的颗粒物、盐酸酸雾（以氯化氢计）和氢氟酸酸雾（以氟化物计），氮氧化物排放执行《大气污染物综合排放标准》（(略)）表2中限值要求；非(略)烷总烃、异(略)醇排放执行安徽省地方标准《固定源挥发性有机物综合排放标准 第5部分：电子工业》（DB 34/4812.5-2024）中排放限值；厂界非(略)烷总烃无组织排放执行《大气污染物综合排放标准》（(略)）中限值，厂区内挥发性有机物无组织排放执行《固定源挥发性有机物综合排放标准 第5部分：电子工业》（DB 34/4812.5-2024）表3中排放限值；NH3、H2S、臭气浓度排放参照执行《恶臭污染物排放标准》（(略)）相关限值要求；锅炉燃烧废气执行《锅炉大气污染物排放标准》（(略)）表3中特别排放限值标准，其中氮氧化物按照《 (略) 锅炉及工业炉窑综合整治工作方案》（滁大气办〔2019〕19号文）的要求，排放浓度不高于50mg/m3。食堂油烟经油烟 (略) 理后经烟道至顶楼排放，且执行《饮食业油烟排放标准（试行）》（(略)）要求。

3、落实《报告书》提出的废水污染防治措施。厂区实行雨污分流、清污分流，项目污水采用分类收集、 (略) 理，按规范要求设置废水排放口。项目生产废水中含氟废水进入含 (略) 理系统，含氮废水进入含氮废水系统，纯水站浓水、循环冷却水排水、废气治理设施废水、锅炉排水等进入综 (略) 理系统；食堂废水经隔油池+化 (略) (略) (略) ；生产废水 (略) (略) 理后与生活污水一并满足《电子工业水污染物排放标准》（(略)）表1、表2标准 (略) 理厂接管限值要求，氯化物排放执行《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T (略)-2015）中表一B级标准要求后排入省 (略) (略) 工业专 (略) 理 (略) 理，达标排放。

4、落实《报告书》提出的噪声污染防治措施。项目应选用低噪声设备，对噪声源采 (略) 、安装减振消声设施等措施，确保厂界噪声符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（(略)）表1 (略) 标准要求。

5、落实《报告书》提出的固体废物污染防治措施。加强固体废物的环境管理，分类收集固体废物。落实危险废物厂内暂存措施 (略) 置措施，防止二次污染，危险废物暂存场所建设应符合《危险废物贮存污染控制标准》（(略)）有关规定。化学品包装、废活性炭、 (略) 理膜、废矿物油、含油抹布及手套、废汞、废酸、废铅蓄电池等危险废物需委托有资 (略) 理处置；其他一般固体废物 (略) 理处置。

6、落实《报告书》提出的风险防控措施。 (略) 按规范设置围堰，厂区设置1座800m3的初期雨水池，1座1000m3的应急事故池，分别用于收集事故性废水和初期雨水，落实事故废水自动截断、收集措施，确保事故性废水不直接排入地表水体，初期雨水不排 (略) 。化学品仓 (略) 进行物料存储，各存储单元周围均设置地沟、集液槽，浓度检测仪等风险防范措施，化学品仓 (略) 进行物料存储，氯化氢站、三氯氢硅站、供 (略) 域设置气体浓度检测仪、喷淋设施等风险防范措施，车间内安装各类气体探测仪等及急停系统等。污染防治设施、设备在检修和故障时，应按《报告书》要求立即采取应急措施，必要时停止生产，并及时向当地生态环境部门报告。及时编制突发环境事件应急预案，并报生态环境部门备案，强化风险意识，建立完善风险防范体系，加强安全管理，杜绝发生污染事故。

7、按《报告书》要求，项目 (略) 设置200m的环境防护距离环境防护距离，环境防护距离内不得建设敏感建筑。工程建设和运营过程中，应建 (略) ，满足公众合理的环境保护诉求，并主动接受社会监督。

8、落实《报告书》提出的跟踪监测计划，配备必要的分析设备，及时发现和解决项目在建设期、运行期的各种环境问题，确保周边环境功能不降低。

9、若项目的规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染措施发生重大变动，你公司应严格遵照国家相关法律法规的规定， (略) 报告，且待正式批准后方可开工建设。

三、工程建设应严格执行环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投入使用的环境保护“三同时”制度，各项环境管理、污染防治措施应一并落实。工程竣工后，必须严格执行排污许可制度，在发生实际排污行为前申领排污许可证，按规定对环境保护设施进行验收，经验收合格，方可投入生产。你公司应主动公开项目环评文件和验收报告，接受社会监督。

四、 (略) 生态环境保护综合行政执法支队 (略) 生 (略) 按照《关于进一步完善建设项目环境保护“三同时”及竣工环境保护自主验收监管工作机制的意见》（环执法〔2021〕70号）要求，加强对该项目环境保护“三同时”及自主验收监管，并加强项目施工期环境管理。你公司应在收到本批复20个工作日内，将批准后的环境影响报告书分送上述部门，按规定接受生态环境部门监督检查。