广东鸿浩半导体设备有限公司新建项目

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项目名称:广东鸿浩半导体设备有限公司新建项目
建设单位:广东鸿 (略)
建设地点:广东佛山南海区里水镇里水花园大道南侧
环评机构: (略) (略)
项目概况：主要从事半导体专用设备制造，年产PECVD化学气相沉积设备3台/年、Laser-debonder激光薄层剥离设备10台/年，AOI检测设备9台/年、On-site高浓度氢氟酸循环回收设备6台/年、Dry Pump相关设备1040台/年、半导体封测EMI防制PVD（物理气相薄膜沉积设备）4台/年、Scrubber设备180台/年、加工铝件1252台套/年、加工铁件1252台套/年
主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施：有机废气（含非*烷总烃）：10K生产厂房1F擦拭室整室收集的废气，经二级活性炭吸附装置处理后经G1排气筒排放，5K生产厂房B区2F擦拭室整室收集的废气，经二级活性炭吸附装置处理后经G2排气筒排放；食堂油烟废气收集后，经静电油烟净化器处理后排气筒排放；在机加工、打磨产生的颗粒物废气、焊接废气锡及其化合物，加强车间的通风换气工作。生活污水经预处理，排入里水镇和顺城区污水处理厂进行深化处理；混合废水经厂区内的废水处理站预处理后，达到回用水标准后，全部回用。纯水机组反冲洗水、废水处理设施反冲洗废水和超声波清洗机清洗废水，委托有相应工业废水处理能力的单位处理。声环境:设备运行噪声:选取低噪声型设备，加强设备管理，加强员工操作的管理，采取消声、隔振等措施，固体废物:一般包装废弃物、金属边角料:交由资源回收商回收处理;纯水制备系统废滤芯、废离子交换树脂:交由纯水过滤器厂商回收处理;CNC废槽液、废槽渣； 软水塔废离子交换树脂；废活性炭；气浮池浮油、浮渣；装载导轨油、切削液、防锈油、抗磨液压油、轴承脂的废桶； 粘有矿物油、乳化液等的废手套、废抹布:委托有相应危险废物处理资质的单位统一处置。