电子束光刻机招标公告

• 项目编号： *** d
• 公告类型：招标公告
• 招标方式：国际公开
• 截止时间： *** * : * : *
• 招标机构： (略) 有限公司
• 招标地区： (略) 市
• 招标产品：光刻机
• (略) 业：;电子电工制造设备;

购买标书

(略) (略) ，于 *** - (略) 。 (略) 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:电子束光刻机，项目采购预算金额： * 万RMB
资金到位或资金来源落实情况:已落实
(略) 条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号: *** d
招标项目名称: (略) 元芯碳基集 (略) 电子束光刻机
项目实施地点:中国 (略) 市
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	电子束光刻机	1套	#2.5.1 加速电压为 * kV，写场尺寸为 * μm 下，最小线宽不大于 8nm；写场尺寸为1mm 下，最小线宽不大于 * nm。 *2.5.2 * kv 加速电压下，主场畸变： - 不大于± * nm @ * um 写场 - 不大于± * nm @ 1mm 写场 2.5.3 束电流漂移不大于±0.5%/h（开环测量） *2.5.4 曝光Dose调节范围： * bit（2^ * 级） #2.5.5 * kV 加速电压下，拼接精度： - 不大于± * nm @ * um 写场 - 不大于± * nm @ 1mm 写场 *2.5.6 * kV 加速电压下，直写模式的套刻精度： - 不大于 ±5nm @ * um 写场 - 不大于 ± * nm @1mm 写场 *2.5.7自动寻找 * 个对准标记时间不大于 * s	交货期：合同生效并收到预付款后 * 个月，最迟开始调试验收的日期不早于 * 日。

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:A、投标人须具有独立法人资格，生产或经营范围应包含拟投设备；
B、投标同型号产品近 * 年内的使用业绩，并提供证明文件。
C、 (略) 家只允许授权 * 家代理商参加投标。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间: ***
招标文件领购结束时间: ***
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点： (略) 市 (略) 区上地 * 街8号楼华成大厦 * 层
招标文件售价:￥ * /$ *
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）: *** * : *
投标文件送达地点: (略) 市 (略) 区上地 * 街8号楼华成大厦 * 层会议室
开标地点: (略) 市 (略) 区上地 * 街8号楼华成大厦 * 层会议室
6、投标人在投标 (略) （https:/ *** ） (略) 投标电子交易平台（https:/ *** ）完成注册及信息核验。 (略) 网公示。
7、联系方式
招标人: (略) 元芯碳基集 (略)
地址: (略) 区杏石口路 * 号益园创意文化产业园B1碳基集 (略)
联系人:孙中化
联系方式: ***
招标代理机构: (略) 有限公司
地址: (略) 市 (略) 区上地 * 街8号楼华成大厦 * 层
联系人:康进、张跃、孙玉玲、王艳霞
联系方式: ***
8、汇款方式:
招标代理 (略) (人民币): (略) (略) 北 (略)
招标代理 (略) (美元): (略) (略) 北 (略)
账号(人民币): ***
账号(美元): ***
9、其他补充说明
其他补充说明: (略) (略) (略) 信息填报，填报链接：http:/ *** ，公司信息提交成功后（不代表项目报名成功，也不能作为报名成功的依据） (略) 现金购买。 (略) 文件（如资料不齐， (略) 文件）：
A、营业执照副本，税务登记证，组织机构代码证或 * 证合 * 后的营业执照副本复印件加盖公章；
B、经法定代表人签字、公司盖章的“授权委托书”原件及被授权人身份证复印件加盖公章；
C、代理商证明，产品制造商针对本项目的产品授权书同 (略) 家投标产品的证明材料复印件加盖公章。
招标代理机构对报名资料的审验并不作为投标单位资格条件的最终认定，投标单位应对资料的真实性、合规性负责；开标后， (略) 对投标单位的资格 (略) 资格审核，不符合投标资格条件的投标单位的投标将被拒绝。