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厦门大学2021年2至3月政府采购意向-化学气相淀积(PECVD)

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化学气相淀积(PECVD)
(略) 在采购意向： (略) * 月政府采购意向
采购单位： (略)
采购项目名称：化学气相淀积(PECVD)
预算金额： * . *** 万元(人民币)
采购品目：
A *** 其他仪器仪表
采购需求概况：
化学气相淀积(PECVD)功能：应用于晶圆表面介质膜成膜制程工艺； (略) 理8吋圆片；可以淀积 * 氧化硅、氮化硅；机台淀积速率：SiNx/SiO2：> * ?/min。
预计采购时间： ***
备注：
用户单位为电子 (略) 。

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。

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