项目名称
(略) 背金扩产项目
项目名称
(略) 背金扩产项目
建设地点
嘉定 (略) (略) (略)
所属行业
计算机、通信和其他电子设备制造业
项目内容
现为争取汽车电子市场的份额,优化生产配比,本项目拟在现有产能基础上 增加芯片背金产能 9 万片/年,新增芯片背金的生产工艺主要有研磨、蚀刻、清洗 干燥、蒸刻、电子真空溅镀,与现有生产工艺一致。 (略) 分设备以满足新增 产能,主要包括 2 台研磨机、1 台清洗干燥机和 2 台溅镀机
建设单位名称
(略)
建设单位地址
上海市 (略) (略)
建设单位联系人
谭谈
联系电话
021- *** -6310
电子邮箱
*** @vi ***
传真
/
环评机构名称
上海清宁 (略)
拟报批的环境影响报告表全文
项目名称
(略) 背金扩产项目
项目名称
(略) 背金扩产项目
建设单位
(略)
所属行业
计算机、通信和其他电子设备制造业
建设地点
嘉定 (略) (略) (略)
项目基本信息
国际市场对更高规格的晶圆需求扩大,现计划本项目8英寸晶圆背 (略) 分(2万片/年)替换为12英寸晶圆产能(0.89万片/年)。由于加工晶圆尺寸变化,本项目去环、揭膜、贴膜设备因产品加工尺寸不同,无法满足生产需求,其余设备均为通用生产设备可用于不同尺寸产品的加工。 (略) 分设备以满足12英寸晶圆背金芯片的产能替换,主要包括2台贴膜机、1台去环机、1台揭膜机和2台晶圆打包机。背金工艺主要是将原料背面进行金属化的过程,本项目单个8英寸晶圆背金面积为0.0324m2,则2万片8英寸晶圆背金面积为648m2,本次变动后替换的12英寸晶圆背金面积为0.0729m2,则0.89万片12英寸晶圆背金面积为648m2,产能替换后背金工艺面积不变,背金工艺使用的原辅材料量(除原材料晶圆外)仅与背金面积相关,则本项 (略) 需原辅材料不变。
设计单位
(略)
计划开工日期
2022-07-01
环 (略)
114-3-22-70
(略)
沪 114 环保许管[2022]80 号
环评批文日期
2022-06-28
联系人
谭谈
联系电话
***
电子邮箱
*** @vi ***
实际开工日期
2022-07-01
开始调试日期
竣工日期
开始调试日期
联系人
联系电话
823kl5
非重大调整报告(pdf)
环保措施落实情况(pdf)
公示起始日期
公示起始日期
验收报告