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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将浙大 (略) 2024年2月至3月激光直写光刻机等设备采购意向公开如下：
| 采购单位 | 浙大 (略) |
| 采购项目名称 | (略) 激光直写光刻机、丝网印刷机等科研实验设备购置 |
| 采购品目 | A货物 |
| 采购需求概况 | 包括激光直写光刻机、丝网印刷机、无损激光切割设备各1台。 1）激光直写光刻机：能够用于制作各种微纳结构材料及器件。本次采购的1套激光直写光刻机，最小结构尺寸：≤2μm；有效光刻幅面：186mm*186 mm；光源类型：LED/LD 405nm或365~385nm，支持正胶和负胶；高速写入：450 mm2/*@*μm；套刻精度：±1μm；自动聚焦系统、气浮隔振系统。可以满足实验室微纳结构材料制备需求。 2）丝网印刷机：用于太阳能硅晶片、半导体、生物测试片、电子元件等产品的丝网印刷。本次采购的1套丝网印刷机，印刷面积：最大 200×200mm；膜厚均匀度 ﹤±0.001mm；台面进出重复精度：0.001mm（伺服+滚珠丝杆）；印刷工作台调节量：X：±4mm，Y：±4mm， θ：±2°；台面对位精度：﹤±0.002mm 重复印刷精度 ﹤±0.005mm；台面平面精度：﹤±0.015mm；台面与刮刀平行度 ﹤±0.02mm；台面与网框夹平行度 ﹤±0.02mm；台面进出速度 10～1500mm/s（可设定）；平台最大升降行程：15mm ；台板传动 伺服马达+线性滑轨+滚珠丝杆；CCD自动定位 ；印刷速度：0～1200mm（每秒）；印刷压力 0～20kg/cm2；刮印行程0～300mm；印刷马达：行程设定 ；刮刀高度调整20mm ；刮刀角度 -30°～30°；回墨刀高度调整：20mm ；回墨刀角度 -30°～30° ；刮刀两侧调节水平：有。 3）无损激光切割设备：用于切割电池片同时电池片效率无损伤。本次采购的无损激光切割设备采用低功率红外脉冲激光、高功率红外连续激光结合水冷,无热影响区域（头尾开槽除外）;头尾开槽长度≤1.5mm±0.2mm，宽度≤100μm±10μm, 深度≤厚度的40% （可调）;截面无裂痕、烧融、水渍、熔渣、毛刺、波浪纹等异常现象；靠边定位方式。满足晶硅电池片无损切割需求。 |
| 预算金额（元） | * |
| 预计采购时间 | 2024年03月 |
| 中小企业预留情况 | 中小企业预留 |
| 落实政府采购政策功能情况 | |
| 联系人 | 冯秋洁老师 |
| 联系电话 | * |
| 备注 | / |
浙大 (略)
2024年02月08日
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京公网安备 11010802042560号