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自动划片机招标预告

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正文内容

自动划片机
项目所在采购意向： 华中科技大学2024年10月政府采购意向
采购单位： 华中科技大学
采购项目名称： 自动划片机
预算金额： 170.*万元(人民币)
采购品目：
A*工艺试验机
采购需求概况 ：
数量：1。 设备用途：用于实现晶圆的全自动划片。 主要性能指标：载物台尺寸≥300mm*300mm； 定位精度优于3μm； 重复精度优于1μm； 划片速度≥50mm/s 集成非接触测高、芯片破损检测功能模块。
预计采购时间： 2024-10
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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