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中国科学院微电子研究所2021年3至12月政府采购意向-先进光刻工艺仿真平台

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名称：先进光刻工艺仿真平台数量：一套（包含多种小功能licenselicense组合后用于完成EUV/DUV

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# 仿真# 先进# 研究所

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