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| 项目名称： | 半导体先进装备研发制造中心项目（一期） | |
| 建设地点： | (略) 西海岸新区红石崖街道办事处中德生态 (略) 南、万松山 | |
| 建设单位： | 青岛四方 (略) | |
| 环境影响评价机构： | 青岛 (略) | |
| 公示时间： | 2024年07月23日 至 2024年07月29日 | |
| 项目概况： | 项目位于青岛西海岸新区红石崖街道办事处中德生态 (略) 南、 (略) 西，使用 (略) 厂房进行建设，占地面积*m2及建筑面积*m2。项目主要建设内容包括：1#-A技术测试车间及附属办公楼、2#员工宿舍、3#动力中心、4#-A装备制造中心车间及5#厂房（设危化品库、危废间及剧毒钢瓶间）各1座，设IMP研发实验室、ALD研发实验室、IMP工艺测试区、ALD设备组装区、IMP模组组装区、IMP整机检测区、IMP模块集成检测区及相关配套设施。项目主要生产设备与设施：安规测试仪1台、天车1台、液压机1台、真空检漏仪5台、手持式空气颗粒计数器2台、PM工具-烘干机2台、PM工具-清洗机2台、表面沾污仪1台、示波器2台、危化品橱柜8台、ALD机台19台、氢气发生器1台、4t/h燃气热水锅炉2台（一用一备）等，主要原辅材料及用量：石英件1250个/年、三*基铝2000g/年、三*基镓5200g/年、二*基锌4000g/年、[3-(二*氨基)*基]二*基铟4500g/年、氧气6.86kg/年、砷化氢2236g/年、49%氢氟酸750kg/年、96%硫酸350kg/年、31%双氧水350kg/年、晶圆6000片/年等。项目建成后设计生产能力为年生产离子注入机（IMP）59台（套）、原子层沉积镀膜设备（ALD）113台（套），并进行IMP设备、ALD设备的研发实验。 项目IMP设备通气测试过程产生电离辐射，涉及的辐射环境影响不在本次评价范围内。 项目总投资*万元，其中环保投资*元。 | |
| 主要环境影响及预防或 者减轻不良环境影响的 对策和措施： | 项目设计、建设和运行过程中要认真落实《报告表》提出的各项环境污染防治和风险防范措施，并做好以下工作： （一）严格落实水污染防治措施。酸性废气处理系统废水经厂区污水处理设施处理后与锅炉排污水、纯水制备浓水、常温循环冷却系统排污水以及生活 (略) (略) ，排入龙泉河污水处理厂处理。废水排放执行《污水综合排放标准》（*）表4三级标准，同时须满足龙泉河污水处理厂进水水质要求。项目须按照“源头控制、分区防控、污染监控、应急响应”原则，运行过程加强管理，做好分区防渗，防止污染地下水和土壤。 （二）严格落实大气污染防治措施。ALD设备生产、研发镀膜测试产生的镀膜废气先经各自机台配套的13套POU吸附（“过滤棉+活性炭”工艺）处理后，再送至1套中央酸性废气处理系统（1用1备）处理，由2根22m高排气筒（P1-1～P1-3，2用1备）排放。颗粒物排放浓度执行《区域性大气污染物综合排放标准》（DB37/2376-2019）表1中“重点控制区”的排放浓度限值要求，排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（*）表2中的二级标准限值的50%；VOCs排放浓度和排放速率执行《挥发性有机物排放标准第 7 部分：其他行业》（DB37/2801.7-2019）表1中“非重点行业第Ⅱ时段”要求，排放速率严格50%执行；HCl排放浓度、排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（*）表2中的二级标准限值，排放速率严格50%执行；NH3排放速率执行《恶臭污染物排放标准》（*）表2中的标准。 IMP设备生产、研发通气测试产生的离子注入废气部分先经各自机台配套的10套POU干式吸附（“金属氧化物+氢氧化钙”工艺）处理后，再送至1套中央干式吸附（“金属氧化物+氢氧化钙”工艺）（1用1备）处理，尾气由1根22m高排气筒（P2-1、P2-2，1用1备）排放，含氟化物酸性废气送至中央酸性废气处理系统处理，与ALD设备镀膜测试废气合并排放。氟化物排放浓度和排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（*）表2中的二级标准限值，排放速率严格50%执行。 2台（1用1备）热水锅炉采用低氮燃烧技术，天然气燃烧废气分别经各自配套的1根排气筒（P3-1、P3-2，1用1备）排放。SO2、NOx、颗粒物、林格曼黑度排放浓度执行《锅炉大气污染物排放标准》（DB37/2374-2018）表2“重点控制区”限值要求。 厂界VOCs、臭气浓度排放浓度执行《挥发性有机物排放标准第7部分：其他行业》（DB37/2801.7-2019）表2中标准限值；氟化物、HCl、颗粒物厂界无组织监控浓度执行《大气污染物综合排放标准》（*）表2限值；氨厂界浓度执行《恶臭污染物排放标准》（*）中表1二级标准要求。厂区内VOCs无组织排放执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB *-2019）附录A表A.1中NMHC无组织排放监控浓度特别排放限值要求。严格落实《挥发性有机物无组织排放控制标准》（*）要求，规范废气收集处理设施，减少无组织排放，确保厂区内及厂界无组织排放满足限值要求。 项目须严格按照环评报告要求和实际情况定期更换过滤棉、活性炭等耗材，留存详细的购买、更换、处置台账，台账至少保存3年。 项目建成后，废气污染物排放量应控制在VOCs0.13千克/年、颗粒物0.22吨/年、SO20.43吨/年、NOx1.5吨/年以内。 （三）严格落实噪声污染防治措施。车间及生产设备须合理布局，采取减振、隔声等有效的噪声污染防治措施。厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（*）中3类标准。 （四）严格落实固体废物污染防治措施。废晶圆、ALD设备配套滤芯（Fliter）、废吸附剂、废过滤棉及活性炭、危险化学品废包装、离子注入机清洗产生的含砷废液，硅片湿法清洗产生酸性废液等危险废物，暂存于新建2座15.7m2危废暂存间，定期委托有资质单位处置；废包装材料，纯水制备产生的废反渗透膜，污水处理设施产生的少量污泥等一般工业固废暂存于新建37.2m2一般固废间，委外综合利用或处置；生活垃圾分类收集后定期清运。 各类固体废物应根据特性分区、分类贮存和管理。一般工业固体废物贮存过程应满足相应防扬散、防流失、防渗漏等环境保护要求；危险废物暂存管理需满足《危险废物贮存污染控制标准》（*）要求，按规范建立一般工业固体废物和危险废物污染环境防治责任制度、管理台账，确保可溯源并存档备查。 （五）严格落实环境风险防范措施。按照《突发环境事件应急管理办法》的相关要求，编制突发环境事件应急预案并向我局备案。严格依据标准规范建设环境污染防治设施，健全内部管理责任制度，依法依规对污染防治设施和项目开展安全评价、评估和事故隐患排查治理，并按规定报安全生产行业主管部门。配备充足的环境应急物资，加强巡查巡检和应急培训演练，有效防范、科学处置突发环境事件。 （六）严格落实《报告表》提出的环境管理与监测制度。建立健全环境管理制度，明确专人专责，加强环境日常管理，确保设施正常运行，实现污染物稳定达标排放。按照《排污口规范化整治技术要求（试行）》《山东省污水排放口环境信息公开技术规范》等规定设置规范的污染物排放口和标志牌，废气排气筒设置永久采样孔、 (略) 。 （七）建立畅通的公众参与途径，主动接受社会监督，并及时回应和解决公众关切的环境问题，切实维护公众合法的环境权益。 （八）按照《山东省生态环境厅关于印发山东省重点排污单位名录制定和污染源自动监 (略) 管理规定的通知》（鲁环发〔2019〕134号）要求适时安装在线监测设备。 | |
| 建设单位或地方政府及 有关部门作出的相关环 境保护措施承诺文件： | ||
| 审 批 单 位 | 名称： | (略) 生态环境局西海岸新区分局 |
| 联系电话： | 0532-* | |
| 传真电话： | ||
| 通讯地址： | (略) 西海岸 (略) 166号2号楼3楼 | |
| 邮政编码： | * | |
京公网安备 11010802042560号