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重庆万国半导体科技有限公司12英寸功率半导体芯片制造及封装测试生产基地项目使用射线装置2台重庆市直辖市两江新区北碚区悦复大道188号

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备案系统登记表管理

建设项目环境影响登记表

填表日期：2023-05-15

重庆万 (略) 12英寸功率半导体芯片制造及封装测试生产基地项目使用射线装置2台
(略) 两江新区北碚区悦复大道188号 *
重庆万 (略) LEE SHAWN LUO
6000 120
2023-07-30
新建
一、建设内容： 在FAB厂和AT厂内安装、调试、使用Ⅲ类射线装置（射线种类为X射线），主要用途为离子注入。二、建设规模： 1、在FAB厂房2楼扩散区安装1台离子注入机（厂商为varian semiconductor equipment，最大管电压150kV，最大管电流5mA）；2、AT厂房一楼BGBM区安装1台离子注入机（厂商为APPLIED MATERIALS，最大管电压1000kV，最大管电流0.5mA）。
环保措施:
一、环保措施1、污染防治措施：公司射线装置内部射线发生关键部位有覆盖厚度7-9mm的铅板；2、机台安装有互锁装置，当机台未安装到位或门板未处于关闭状态，互锁装置将直接控制设备不能运行，停止产生高压、辐射；3、安装机台进行至某阶段时，会进行辐射验收，机台运行时，使用辐射检测仪在机台周围20cm之内测量辐射值，符合标准才能验收合格；4、定期进行辐射机台点检；5、在工作场所张贴电离辐射警告标志和中文警示说明；6、公司为所有辐射工作人员配备个人剂量计，每季度委外计量辐射剂量值。二、安全管理措施： 1、 专职人员负责辐射安全管理；2、规章制度：辐射危害管理办法、操作规程、岗位职责、辐射防护措施、台账管理制度、人员培训计划、监测方案；3、辐射事故应急措施；4、个人辐射剂量检定、个人剂量档案、职业健康体检、个人健康档案；5、所有辐射工作人员均需参加辐射安全和防护知识培训，并考试合格后，才能上岗。
,重庆, (略) ,北碚区,重庆

相关标签
# 射线装置# 12英寸# 半导体

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