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哈尔滨工业大学深圳ALD原子层沉积系统意向公开-真空应用设备

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正文内容

哈尔滨工业大学（深圳）ALD原子层沉积系统意向公开
采购单位: 哈尔滨工业大学（深圳）
项目名称: ALD原子层沉积系统
预算金额（元）: 1,*
采购品目: 真空应用设备
采购需求概况: 1.适用于8英寸以及小尺寸样品薄膜沉积；
2. 反应腔材质为316L不锈钢，底座整块材料加工，腔体表面抛光后电解；
3.设备本底真空优于3 Pa，设备漏率≤ 5×10-10Pa·m3/s；
4.多种沉积模式：快速模式、充分暴露模式和多元掺杂模式。
5. (略) ， (略) ；每路源配备三孔ALD阀门(响应时间＜5 ms)；
6. 臭氧发生器产量不低于20 g/h，浓度不低于100 g/m3；
7. 臭氧发生器采用风冷方式无需配备冷却水，尺寸不大于510*510*210 mm；
8.配备进口压力传感器，检测范围：5*10-4~1000 mbar；
9. 真空泵前级配置热阱，温度范围RT-300 ℃，控制精度±1℃；
10. 力学载台压力不低于10KN，加热最高温度400℃
联系人: 秦敬凯
联系电话: *
预计采购时间: 2024-05
备注: 无
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准

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# 原子层沉积# ALD# 真空

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