2025年1月政府采购意向-电子与信息工程学院电化学CV测量仪器采购项目详细情况万元人民币

A#流量仪表

电化学CV测量仪器，1套。主要用途：该设备用于测量半导体外延片（以GaAs和InP系为主）中的载流子浓度随深度的分布。技术要求：测量深度分辨率可达1nm；可测量的最低载流子浓度～1014/cm3；可测量每个蚀刻点的电容-电压/电流-电压曲线；测量过程中可记录/获取电容/电流的瞬时值，可观测和分析样品形貌；包含光学检查和成像设备及功能；软件控制主机实现各种自动测量功能。交付时间：签订合同后12个月内。交付地点：中山大学东校园纳米楼。售后服务要求：保修至少1年，应由原厂授权的国内机构的工程技术人员进行售后服务。免费培训工程师和技术员不少于3次，故障报修后48小时内响应。