2024年6月12日省生态环境厅关于中环领先半导体科技股份有限公司集成电路用半导体大硅片扩建项目拟进行审查的公示

序号

项目名称

建设地点

建设单位

建设项目概况

公众参与情况

相关环保措施承诺

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

11

(略) 用半导体大硅片扩建项目

(略) 经济技术开发区

中环领先半 (略)

公司拟在现有厂区实施“ (略) 用半导体大硅片扩建项目”， 该项目拟对厂区现有切磨抛厂房2（现有12英寸厂房）的一、二、三层进行改造，依托现有贮运工程、公用工程、废水处理系统、固废暂存库、事故池等，新建废气治理设施、酸碱废水回用系统、含氟废水回用系统等，采购粘棒机、线切机、倒角机、磨片机、外延炉等329台机器，并增加特气设备（特气阀门分流箱），项目建成侯新增*片/月12英寸硅片（抛光片*片/月、外延片*片/月）生产能力。

本项目位于宜兴经济技术开发区，宜兴经济技术开发区已编制规划环评并取得生态环境部审查意见，编制过程中开展了规划环境影响评价公众参与，本项目性质、规模等符合规划环境影响报告书和审查意见,因此本次公众参与按《环境影响评价公众参与办法》第三十一条进行简化。

1.根据《环境影响评价公众参与办法》第三十一条，项目免于开展第一次环评信息公告，与第二次环评信息公告一并公开。

2.2024年4月26日，建设单位在宜兴经济技 (略) 站发布了第二次环评信息公告，按照《环境影响评价公众参与办法》第三十一条，第二次环评信息公告公示期为5个工作日。公示期间，未收到与本项目有关的意见和建议。

3.建设单位于2024年4月29日和4月30日两次在“扬子晚报”上对项目进行了报纸公开。公示期间未收到于项目有关的意见和建议。

4.按照《环境影响评价公众参与办法》第三十一条，项目免于以在所在地及周边敏感目标张贴公告的方式开展公众参与。

5.2024年5月9日，建设单位在宜兴经济技 (略) 站公开了拟报批的环境影响报告书全文和公众参与说明。

/

（一）全过程贯彻清洁生产原则和循环经济理念，采用先进工艺和设备，加强生产和环境管理，落实“以新带老”措施，减少污染物产生量和排放量，项目单位产品水耗、物耗、能耗和污染物排放等指标应达国际清洁生产领先水平。

（二）落实《报告书》提出的各项废气治理措施，确保各类废气的处理效率及排气筒高度达到《报告书》提出的要求，采取有效措施控制无组织废气排放。项目外延、清洗等工艺废气中颗粒物、二氧化硫、氟化物、氯化氢、非*烷总烃执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1排放限值，三氯氢硅参 (略) 《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）排放限值，硅片外延、清洗等工艺、废水处理站废气中氨、硫化氢、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》（*）表2排放标准。厂界颗粒物、氟化物、氯化氢、非*烷总烃执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表3排放限值，氨、硫化氢、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》（*）表1中二级新扩改建标准值，厂区内挥发性有机物执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表2标准。

（三）按“清污分流、雨污分流、一水多用、分质处理”原则设计、建设、完善厂区给排水系统。含氟废水、含氟碱喷淋废水经“二级除氟沉淀系统+A/O”工艺处理后，经含氟废水专 (略) 工业污水处理厂，出水氟化物接管执行1.5mg/l浓度限值，其他因子接管标准执行《电子工业水污染物排放标准》（*）表1间接排放限值。硅片臭氧冲洗排水回用于臭氧冲洗，漂洗水回用于纯水制备系统，倒角、减薄、抛光等工序含砂废水采用“中和+超滤+反渗透”工艺处理后70%回用于循环冷却水、废气喷淋水、车间地面冲洗水等。含氨废水、含砂废水分别经含氨废水处理系统、含砂废水处理系统预处理后，与脱胶废水、外延尾气处理器排水、酸喷淋废水、地面冲洗水、倒角及减薄等工序含砂废水回用系统浓水一并进入综合废水处理系统处理。综合废水处理系统出水与纯水制备系统排水、循环冷却水排水、酸碱中和剩余废水一并 (略) 工业污水处理厂集中处理，常规因 (略) 工业污水处理厂接管标准，特征因子总有机炭（TOC）接管执行《电子工业水污染物排放标准》（*）表1间接排放限值，单位产品基准排水量执行《电子工业水污染物排放标准》（*）表2电子专用材料-硅单晶材料要求。生活污水单独接 (略) 污水处理厂。

（四）选用低噪声设备并采取有效的减振、隔声、消声等降噪措施，确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB *-2008）3类标准。施工期噪声执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》（GB *-2011）要求。

（五）按“资源化、减量化、无害化”原则落实各类固体废物的收集、处置和综合利用措施。固体废物在厂内的堆放、贮存、转移应符合《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB *-2020）、《危险废物贮存污染控制标准》（GB *-2023）相关管理要求，防止产生二次污染。危险废物转移应当遵循就近原则，及时清运并委托有资质单位规范处置。

（六）做好土壤和地下水污染防治工作。落实《报告书》中提出的分区防渗要求，危险废物暂存间、污水处理站、事故池、初期雨水池、污水排水管道等应采取重点防渗措施，制定并落实土壤、地下水跟踪监测计划。

（七）强化各项环境风险防范措施，有效防范环境风险。落实《全省生态环境安全与应急管理“强基提能”三年行动计划》相关要求。落实《报告书》提出的环境风险防范措施，按照最新管理要求及时修订突发环境事件应急预案，定期排查突发环境事件隐患，采取切实可行的工程控制和管理措施，配备环境应急设备和物资，依托现有事故污染物收集系统和足够容量的事故废水收集池、初期雨水池等设施，确保事故废水不进入外环境。

（八）按要求规范设置各类排污口及其标志，并按污染源自动控制相关管理要求建设、安装自动监控设备及其配套设施。按《报告书》提出的环境管理与监测计划实施日常环境管理与监测，监测结果及相关资料备查。

（九）落实《报告书》提出的以厂界四周设置200米卫生防护距离的要求，该范围内目前无居民住宅、学校、医院等环境敏感目标，以后亦不得建设居民住宅、学校、医院等环境敏感目标。

（十）你公司应对污水处理等环保设施设备开展安全风险辨识管控，健全内部环保设施设备稳定运行和管理责任制度，严格依据标准规范建设环保设施设备，确保环保设施设备安全、稳定、有效运行。