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| 项目名称 | 原子层沉积控制系统 | 项目编号 | TYLGJJCG *** |
| 公告发布日期 | *** * : * | 公告截止日期 | *** * : * |
| 采购单位 | (略) | 付款条款 | 货到验收合格后， * 个工作日内将 * % (略) 账户。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 是否本地化服务 | 否 | 是否需要踏勘 | 否 |
| 踏勘联系人 | 踏勘联系电话 | ||
| 踏勘地点 | |||
| 采购预算 | ￥ * , * . * | ||
| 送货/施工/服务期限 | 合同生效之日起 * 日内 | ||
| 送货/施工/服务地址 | (略) 省 (略) 市 (略) (略) 明向校区 | ||
采购清单
1
| 采购内容 | 计量单位 | 采购数量 | 售后服务 | |
| 原子层沉积控制系统 | 套 | 1 | 供应商须按国家有关规定及标准完成本次采购商品的供货，运输，安装，调试，技术培训，检验，保证使用人员正常操作软件的各种功能。 提供售后服务的联系人和联系电话。按国家有关产品“ * 包” (略) “ * 包”，免费质保期最短不得少于1年。 | |
| 参考品牌及型号 | 品牌：YANDZ控制系统 型号：D *** | |||
| 技术参数要求 | 1. 温控系统采用8通道高精度PID温控系统，且采用固体继电器控温，节能高效，温控精度不低于±0.1 ℃；2. 气动控制采用8通道集成高速阀岛，其中1路用于控制尾阀、4路用于控制前体源（最大可扩展至7路源），工作压力范围：－0.9 ~ * .0 bar；3. 工作压力为 * Pa以上，通过程序控制载气流量，宽范围可调，控制精度不低于±1 Pa；4. 每次气体引入量必须重复性好、可靠性高，控制精度±0.3 sccm5. 高度集成的控制系统软件：（1）通过笔记本电脑控制。方便程序升级、更新、沉积工艺加载和保存；（2）沉积软件采用高度集成整合界面，并可在同 * 界面方便的对 (略) 控制；（3）程序自动记录沉积参数（截屏保存）、气压、沉积线路等，利于长久保存、方便查询及故障检查；（4）沉积序列设置要求可交替循环，实现多层交替复合膜的沉积，必须具有单次操作就可实现多层多组分变化梯度膜的沉积；（5）程序设计最高气压限制、温度范围限定，防止CVD反应；（6）两种控制模式可选：程序可任选两种模式中的 * 种， * 键设定，方便可选。 | |||
京公网安备 11010802042560号