感应耦合等离子体刻蚀机招标预告

概算金额人民币，万元)：,400.00,预计交付日期：,2024-04-02,联系人：,黄子轩,联系电话：,*,采购意向需求概况：,采购意向公开,为便于供应商及时了解军队采购信息，根据《军队物资服务集中采购需求管理暂行办法》等有关,规定，现将长沙某部的感应耦合等离子体刻蚀机采购意向公开如下,购,预算金,序,需求概况,初步技术参数,预计采购时,间,备注,元),称,≤2E-4,mbar.l/s,本,底真空≤1E,6 mbar,可到1E12,感应耦合等离,cm-3·,子体刻蚀机1,(3)样品尽,队采购网,台：,寸为最大直径,1、报价应,8英寸，向下,为人民币（含,兼容,税)且包括服,(4)下电极,务、售后、运,配置机械卡盘,费等全部费,和背氦冷却：,用。,(5)下电极,2、所有产品,温度控制范围,价格一律不因,不小于-20C,市场调价政策,到+200°C;,而调整。*方,控温精度±1°,除非因*,C;,(6)射频,军队采购,方同意，且不,源：上电极,得增加任何费,ICP源射频发,感,生器：频率,应,3,13.56MHz,了，方提批,餐质量应,功率≥1000,W:下电极偏,等,准,各项技术,置射频发生,离子,性能指标必须,400万,2023.03,元,采购网,达到合同和技,体,术文件规定的,功率≥500,要求,蚀,4、合同生效,(7)真空系,*方在,统采用防腐蚀,涡轮分子泵,成货品运输,抽速≥1350,安装及调试,Ls,本底真,5、提供1年,空≤1E-6,免费维保；,mbar(抽真,6、包装及资,空后8小时以,采购网,料全新未使,内达到)；,7、不能公开,项目采购相关,路，每路工艺,信息，包括数,气路配置质量,量及用途等，,流量计MFC,涉及物资的全,颗粒过滤器和,部技术资料等,气动截止阀,深酮,(9)集成式,气路柜，可以,会公开。,实现工艺气体,的快速切换。,配置单独的干,军队采购网,泵和真空计，,本底真空,1E-1 mbar,真空漏率≤,5E-4,mbar.l/s。,1本次公开的采购意向仅作为供应商了解初步采购安排的参考，采购项目具体情况以最终发布的采,购公告和采购文件为准；,2.供应商可以通过军队采购平台反馈参与意向和意见建议。,3.意向公开时间：2022年12月22日至2023年1月6日,4,联系人及电话：黄子轩*,采购网,长沙某部,2022年12月20日

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