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中国科学院微电子研究所2021年3至12月政府采购意向-干法去胶机

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正文内容

干法去胶机；主要用于光刻胶以及图形转移材料的去除；共采购*台；需要满足以下技术指标：*设备具有去等离子损伤的筛网结构。*去胶速率>*微米/分钟去胶速率的不均匀性<**%*单片试去胶去胶机基

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# 研究所# 微电子# 科学院

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