扫描探针显微镜设备中标结果

序号

设备

名称

数量

技术指标

1

扫描探针显微镜设备

1

扫描器：

1.3.1扫描器至少由三根独立的压电陶瓷管驱动组成，并通过使用绕性构件保证三轴运动方向正交。

1.3.2 ★XY扫描器范围不小于90μm×90μm；

1.3.3 ★Z轴扫描器不低于15μm

1.3.4扫描方式：保证高分辨率测试，控制最低噪音水平，须是样品扫描方式：即扫描过程中探针在仅在Z方向运动，扫描器驱动样品在X,Y方向运动。探针、探针支架、激光反馈装置保持相对静止。

1.3.5扫描器配备SLD（Superluminescent diode）激光器光源

需提供样品：★样品尺寸：样品台尺寸直径不小于80 mm，Z方向不小于10 mm。

供货时间：签订合同后4个月内。