1 | 1.晶体材料 2.转移系统 3.步进电机驱动器及控制器 4.晶体材料纤维测试系统 5.等离子去胶机 6.氮气箱 7.制氮机 8.探针台 9.石墨材料 * .高分辨高灵敏光谱系统 | 1.晶体材料:天然石墨,纯度≥ * . * %,横向尺寸:1-1.5mm,5g/瓶,1瓶; * 方氮化硼晶体,横向尺寸1mm以下,剥离后薄层(几十nm)晶体满足可以加栅极电压的实验需求A级,< * mg, * 片/瓶,1瓶; * 硒化钨晶体,横向尺寸8mm;纯度≥ * . * %,< * mg/瓶,1片。 2.转移系统:具有高分辨率微操作器(x、y和z方向、倾斜和旋转)的机械工作台;x, y 轴( (略) 程): * mm;x, y 轴( (略) 程): * mm;Z轴( (略) 程): * mm;样品旋转角度: * °(精度为0. * °);倾斜角度(x/y轴):0. * °/0.5°;物镜:5x、 * x、 * x、 * x;含CCD:精度优于1μm,工作温度- * °C,像素 * ,像素尺寸 * x * um,安噪声2e-/p/hr;内含操 (略) :i7- * 0 * G 1T+ * G 2G独显(支持双屏);显示器2个:2K高清 IPS广视角 窄边框 低蓝光 * %sRGB,尺寸≥ * 寸。 3.步进电机驱动器及控制器:(1)驱动器:缩回长度≥ * .5 mm(3. * 英寸);约长 * .0 mm;步进速度≥2.0 mm/s。;负载扭矩: * N;定位精度< 5.0 μm ;双向重复性< 5.0 μm ;步进加速度≥ * mm/s2 (2)控制器:每转≥ * , * 步; * 瓦时输出为 * 伏;梯形和‘S形曲线’速度剖面;尺寸 * .0 mm x * .0 mm x * .2 mm;支持“即插即用”的PC控制操作;需要与第2项转移系统配套使用。 4.晶体材料纤维测试系统:观察方式:满 (略) 、暗场、偏光观察方式,成正像;综合放大倍数: * X、 * X、 * X、 * X、 * X;目镜: * x(2个),视场数 * 。眼距可调,双眼屈光度均可调;物镜:平场半复消色差荧光物镜(明/暗场);物镜转换器: (略) 镜转换器。 不同倍率物镜切换时能实现同轴同焦;载物台:搭配3*2载物台; * 万像素工业相机( (略) 理软件);内含操 (略) :i7- * 0 * G 1T+ * G 2G独显(支持双屏);显示器 2K高清 IPS广视角 窄边框 低蓝光 * %sRGB;2个≥ * 寸2k显示屏,显示屏 * 张高清图切换无卡顿。 5.等离子去胶机:外部尺寸: W * ” x H * .5” x D * ” ;真空腔:材料为铝合金,无缝焊接,尺寸:5” (直径)x 8” (约直径 * mm* * mm深);电极尺寸:约 * mm* * mm 间隙约 * mm;等离子发生器:功率≥ * w(连续可调)频率: * . * MHz, 搭 (略) 络匹配电源 0- * W连续可调;供气:1路气体通道,气体流量控制器 0- * cc/min w/精密针形阀;压力测量:皮拉尼真空计 0-1Torr.(1- * mT);电源: * VAC, * A 功率: * W 供气:6mm连接件;控制器:微电脑控制系统;保护装置: * 键急停。 6.氮气箱:湿度范围: 1- * %RH 可定点设定;温度范围:精度: 士 3.0%RH, 士 1.0C;容 量 : * L;层板: * 片标准层板 ;柜体材料: 1mm 厚钢板制作;接地线长度:1m。 7.制氮机:进气压力:6- * kg;入口温度:4- * ℃;电压: * V;总量: * .7KG;功率:3-6wh;进气口PM8、出气口PM8;产生氮气纯度≥ * .5%。 8.探针台:(1)载物台及移动基座:尺寸:大于等于 * mm;材质:不锈钢;X-Y (略) 程: * mm* * mm。平台空气轴承驱动,可快速移动定位;X-Y (略) 程(精调): * mm* * mm,定位精度: 1 微米;旋转角度(粗调): * °;旋转角度(细调): ±9°;精度(细调): 0. * °/deg;Z (略) 程: 0-5mm;Z (略) 程: * mm (2)探针座放置平台:尺寸:可供 * 个 DTP * 定位器操作;材质: S * ,镀镍;兼容性:兼容磁力和真空吸附固定的定位器。(3)光学系统:目镜倍率: * X;变倍倍率: 0. * -5X;光学放大倍数: * X(最小)- * X(最大);显微镜移动基座:旋臂支架,可前后移动,水平旋转; (略) 程: * mm。 9.石墨材料:横向尺寸为1mm-1.8mm颗粒,重量1g;横向尺寸≤1mm,重量1g。 * .高分辨高灵敏光谱系统:HRS- * /高分辨高灵敏光谱系统 参数(1)光谱仪:焦长 * mm;探测器出口:2个;出口焦平面宽约 * mm (2)波长精度±0.2m(开机),0. * nm(校准后)(3)基于软件可卷积算法,提升分辨率;(4)配备标准校准光源,配合软件具有智能波长、强度校准功能(5)光谱分辨率(半高宽):< 0. * nm@ * G/mm光栅, * nm(6)可见光光谱探测器,探测范围 *** nm,峰值量子效率> * % (7)芯片规格:像素 * ,像元大小 * um× * um(8)液氮制冷≤- * ℃,暗噪声<1e-/p/ * * ℃(9)全金属密封焊接( * ) (略) 数据接口( * ) * 位操作软件,具有可视化光谱仪及探测器的选择配置,可实施采集、分析数据( * )数据可输出ASCII, Excel等模式,可将各图像文件输出成视频( * )软件兼容 LabView 、Matlab等支持( * )光栅(以下参数各1个): * g/mm, * nm闪耀波长,最佳效果波长范围 *** nm, 分辨率<0. * * nm, * 刻线, * 次扫描 * nm; * g/mm, * nm闪耀波长,最佳效果波长范围 *** nm信号,分辨率<0. * * nm, * 刻线, * 次扫描 * nm; * g/mm, * nm闪耀波长最佳效果波长范围 *** nm信号,分辨率<0. * * nm, * 刻线, * 次扫描 * nm( * )内含软 (略) :i7- * 0 * G 1T+ * G 2G独显(支持双屏);显示器1个:2K高清 IPS广视角 窄边框 低蓝光 * %sRGB,尺寸≥ * 寸。 | * . * | *** | |