中山大学电子与 (略) 磁控溅射薄膜沉积系统采购项目 | |
项目所在采购意向: | 中山大学2025年1月政府采购意向 |
采购单位: | 中山大学 |
采购项目名称: | 中山大学电子与 (略) 磁控溅射薄膜沉积系统采购项目 |
预算金额: | 100.(略)万元(人民币) |
采购品目: | A(略)非金属材料试验机 |
采购需求概况 : | 设备名称:磁控溅射薄膜沉积系统 数量:1套 用途:旨在更新改造混合集成芯片先导线的既有离 (略) 理及薄膜沉积系统,用于开展铬(Cr)、镍(Ni)、ITO等多种材料的薄膜沉积和混合集成芯片金属互联工艺。升级改造后,系统将具有:配套可旋转样品台尺寸6 英寸,转速5~20 rpm连续可调;配备两个3英寸溅射枪,可兼容射频溅射和直流溅射工作模式;可实现铬(Cr)、镍(Ni)、ITO等多种材料的薄膜沉积,沉积速率控制精度优于10 nm/min;在6 英寸硅片上沉积金属薄膜,薄膜厚度一致性优于95%(以200 nm薄膜定标)。 技术要求(仅列主要,详见采购文件): 1. 可旋转样品台尺寸6 英寸,转速5~20 rpm连续可调 2. 样品台温度连续可调范围包括:室温 ~ 350 ℃ 3. 配备两个3英寸溅射枪,可兼容射频溅射和直流溅射工作模式 4. 可实现铬(Cr)、镍(Ni)、ITO等多种材料的薄膜沉积,沉积速率控制精度优于10 nm/min 5. 配套直流、射频电源各一套 6. 在6 英寸硅片上沉积金属薄膜,薄膜厚度一致性优于95%(以200 nm薄膜定标) 7. 溅射靶位的空间位置位于样品台的下方 8. 配套无油干泵真空系统 9. 工艺腔室真空度优于5×10-7 Torr 10. 配套全自动控制程序及软件 交付时间要求:2025年10月15日之前 交付地点要求: (略) (略) 中山大学南校园557栋 售后服务要求(含培训): 售后服务:供应商应提供设备出厂检验合格证明材料,提供设备相关使用说明文件。保修期内,凡属正常使用情况下,因产品质量问题引起的硬件故障,给予及时维修和技术咨询,24 小时响应,2 个工作日内上门服务或给出解决方案。保修期后的设备控制软件升级费用包含在本次报价内。 安装与调试:仪器到达用户所在地后,根据买方的通知,卖方在2周内安排仪器的安装调试,直至达到验收指标。仪器的安装调试应在于5个工作日内完成。 培训要求:负责设备使用及安全操作规范培训。 具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
预计采购时间: | 2025-01 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。