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中芯国际集成电路制造天津有限公司使用三类工业射线装置应用项目天津市直辖市西青区西青开发区兴华道19号

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建设项目环境影响登记表

填表日期：2024-11-20

中芯国 (略) 制造（天津）有限公司使用三类工业射线装置应用项目
(略) (略) 西 (略) 兴华道19号 (略)
中芯国 (略) 制造（天津）有限公司 刘训峰
(略) (略)
2024-11-25
扩建
一、建设内容 芯片离子注入车间使用离子注入机；芯片沉积车间使用荧光厚度测量仪；实验室使用透射电子显微镜。 二、建设规模 公司现有射线装置93台，涉及离子注入机82台（最大能量2900KeV；最大电流20MA，数量82台），生产厂家为美国 (略) ；(透射或扫描)电子显微镜5台（最大管电压200kV，最大管电流100mA）；X射线荧光测厚仪6台（最大管电压40kV，最大管电流70mA）。公司每年均委托有资质的单位进行辐射安全工作场所的定期检测。自运行至今，无辐射安全性事故发生。
环保措施:
环保措施:环保措施:环保措施:环保措施:一、污染防治措施1、警示标识：公司射线装置工作场所设置电离辐射警示标志及中文警示说明，并且安装工作警示灯，设备工作时开启警示灯，告诫无关人员勿靠近照射场地；公司应在射线装置周围1m 处设置警戒线，以防止无关人员进入。2、屏蔽防护措施：所用射线装置全部配备屏蔽防护。射线装置在非生产时应关闭电源，电源开关钥匙应由专人负责保管，防止非专业操作人员误操作，造成误照射及射线泄漏。设备发现故障时，射线装置断电，再由专业的维修和检测人员进入检查。3、防护用品和监测仪器：公司为60名辐射工作人员配备个人剂量计，配备2台辐射监测仪。二、安全管理措施1、有专职管理人员负责辐射安全管理；2、规章制度：操作规程、岗位职责、辐射防护和安全保卫制度、设备检修维护制度、射线装置使用登记制度、人员培训计划、监测方案；3、辐射事故应急措施；4、个人剂量检定、个人剂量档案、职业健康体检、个人健康档案；5、相关人员按照法规要求由企业自行培训并根据《生态环境部2021年第9号公告》考试合格后上岗。
, (略) , (略) ,天津

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# 射线装置# 工业

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