《8英寸MEMS晶圆生产线项目环境影响报告表》重新报批审批前公示

项目名称

8英寸MEMS晶圆生产线项目（重新报批）

建设地点

(略) (略) 中国（蚌埠）传感谷东侧地块

建设单位

安徽华鑫 (略)

环境影响评价机构

安徽省柏瑞 (略)

项目概况

项目总投资*万元，项目一期工程建设内容于2023年3月已履行环评手续，规划建设过程中，增加背金等工艺，新增铬、银、镍等金属靶材，产品原辅料进行调整，导致新增污染物种类排放且废水第一类污染物排放量增加；新增一套含砷工艺尾气吸附装置，部分污染防治措施发生变动，对照《污染影响类建设项目重大变动清单（试行）》，以上情况属于重大变动，需履行重新报批手续。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

1.废气

项目碱性废气（主要为氨）负压收集，经1#和2#酸液 (略) 理后，由48m高排气筒DA001、DA002排放（排气筒一用一备）。硫酸雾、盐酸雾负压收集，经3#-5#碱液 (略) 理后，由48m高排气筒*排放（排气筒两用一备）。氯气、一氧化二氮、非含砷工艺含氟废气收集后，经等离子水 (略) (略) 理后，再经密闭管道引入3#-5#碱液 (略) 理后，由48m高排气筒*排放（排气筒两用一备）。有机废气在各工序收集后，经“沸石转轮+TO吸附燃烧”处理后，有48m高排气筒DA006、DA007排放（排气筒一用一备）。3台天然气锅炉采用低氮燃烧，燃烧废气汇合后由48m高DA008排气筒排放。含砷工艺尾气收集后，经“设备源头+干式吸附”处理后，由48m高DA009排气筒排放。3座危废库废气收集后，分别经一套“两级活性炭吸附”处理后，分别经35米高排气筒DA010和15米高排气筒DA011排气筒排放。

项目氟化物、氯化氢、氯气、硫酸雾排放执行《大气污染物综合排放标准》（GB *-1996）中表2的相关限值要求；非*烷总烃排放执行《固定源挥发性有机物综合排放标准-第5部分：电子工业》（DB34/4812.5-2024）表1排放限值；异*醇、*酮排放执行《固定源挥发性有机物综合排放标准-第5部分：电子工业》（DB34/4812.5-2024）表2排放限值；氨气执行《恶臭污染物排放标准》（*）中的限值要求；砷烷、磷烷排放参考《江苏省地方标准半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表3标准限值要求；有 (略) 理系统中的二氧化硫、氮氧化物、颗粒物执行《大气污染物综合排放标准》（GB *-1996）中表2的相关限值要求；锅炉燃烧废气中颗粒物、二氧化硫排放执行《锅炉大气污染物排放标准》（*）表3限值要求，氮氧化物执行《安徽省2020年大气污染防治重点工作任务》（皖大气办〔2020〕2号）中不高于50mg/m³的要求。

2.废水

项目生活污水经化 (略) (略) (略) 。有机废水、含氟废水、喷淋塔排水、纯水站浓水、冷却循环系统定期排水、酸碱废水经地 (略) ，排入传感谷污 (略) (略) 理达标 (略) 第 (略) 理厂。项目生产废水执行传感谷污 (略) 理中心相关接管限值，生活污 (略) 第 (略) 理厂污水接管要求。

3.固废

项目含氨废液、光刻废液、废异*醇、废硫酸、废盐酸、等液态危废，经密闭管道输送至液态 (略) ，交由有资 (略) 置。废树脂、废化学容器及沾染物、废过滤介质、废活性炭、废沸石、废矿物油、废油桶、含氟废液等危废暂存于危废库，委托有资 (略) 理。废包装材料收集至一般固废暂存间后由当地环卫部门统 (略) 理。生活垃圾委托环卫部门定 (略) 置。项目一般工业固体废物执行《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（*）；危险废物执行《危险废物贮存污染控制标准》（*）要求。

4.噪声

项目噪声源主要为风机、泵、锅炉以及其他生产设备，通 (略) 、选用低噪声设备、安装减震基座等措施降低噪声对环境的影响。项目施工期噪声排放执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》（*）中的标准；营运期执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（*）3类标准。

公众参与情况

我局受理该项目环评文件后， (略) (略) 网站进行了环境影响报告表全本公示，公示期间未收到反馈信息。

听证权利告知

依据《中华人民共和国行政许可法》第四十七条的规定，自公示起五个工作日内申请人、利害关系人可对该项目拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证，逾期不提交听证申请的，视为放弃听证权利。或者依据《中华人民共和国行政许可法》第三十六条的规定到本机关进行陈述、申辩。逾期不到的，视为放弃陈述、申辩权。

相关部门意见

蚌埠经 (略) (略) 项目备案表（项目代码2211-*-04-01-*）