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新增6台III类射线装置应用项目上海市直辖市嘉定区娄陆公路497号

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建设项目环境影响登记表

填表日期：2024-02-26

新增6台III类射线装置应用项目
(略) 嘉定区娄*公路497号 *
上海集成电路装备材料 (略) 赵宇航
2000 10
2024-05-31
扩建
一、建设内容 生产车间F1三楼BAY 04、BAY 06、BAY A13、BAY A14、BAY B11五个区域使用X射线分析设备和离子注入设备，总计5台。 二、建设规模 1.使用2台X射线荧光分析仪，生产厂商RIGAKU（管电压40kV，管电流90mA，位于BAY A14和BAY B11）； 2.使用1台全反射X射线荧光分析仪，生产厂商RIGAKU（管电压35kV，管电流255mA，位于BAY 04）； 3.使用1台X射线实时成像检测装置，生产厂商Nordson DAGE（管电压160kV，管电流0.125mA，位于BAY 04）； 4.使用1台X射线衍射量测设备，生产厂商Bruker（管电压40kV，管电流1mA，位于BAY A13）； 5.使用1台中电流离子注入机，生产厂商中科信（管电压300kV，管电流3mA，位于BAY 06）。
环保措施:
环保措施:环保措施:一、污染防治措施1、辐射屏蔽措施：公司所有设备均已采取了必要的防护措施，设备 6 面均采用铅板。2、警示标识：现有设备均安装有工作指示灯，在工作场所已张贴电离辐射警告标志及其中文警示说明；公司现有设备1m 处划有警戒线。3、防护用品和监测仪器：公司已为所有辐射工作人员配备个人剂量计，并配备剂量监测仪器。二、安全管理措施1、专职管理人员负责辐射安全管理。2、规章制度：操作规程、岗位职责、辐射防护措施、台账管理制度、人员培训计划、监测方案。3、辐射事故应急措施，现场设置应急处置卡。4、全部43人（含本次新增设备操作人员7人）参加职业健康体检，佩戴个人剂量佩戴，建立个人健康档案。5、全部43人（含本次新增设备操作人员7人）参加辐射安全和防护知识培训，并考核通过（其中通过自行考核20人）。
, (略) ,嘉定区,上海

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# 射线装置

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